型號(hào)

TMS101M

TMS102M

調(diào)整軸數(shù)

XY兩軸

XYZ三軸

行程（mm）

13

驅(qū)動(dòng)方式

微分頭

最小讀數(shù)（mm）

0.01

分辨率（mm）

0.002

擺動(dòng)誤差

＜30″

負(fù)載（kg）

5

2.5

自重（kg）

0.35

0.7